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NANO - Rennes UMR 6164

Effectif total : En cours

La plateforme NanoRennes est une plateforme de micro- nano-technologie, constituée de 260 m² de salles blanches, pour la fabrication à l'échelle sub-micronique de dispositifs microélectroniques et/ou photoniques. Son champ de compétence couvre à la fois la filière des matériaux Silicium et matériaux III-V.

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Etablissement(s) de rattachement

  • Logo Institut national des sciences appliquées de Rennes (INSA)
  • Logo Centre national de la recherche scientifique (CNRS)
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Nos domaines de recherche

Expertises

FILIÈRE SI
-Haute et basse T°,
-MEMS,
-Electronique organique,
-Electronique imprimée.
FILIÈRE III-V
-Croissance MBE (filière InP, GaP, Si),
-Fabrication de lasers semi-conducteurs,
-Micro et nanostructures optiques,
-Electronique hybride Si / III-V,
-Filtres optiques dans le visible et l'IR,
-Wire-bonding.

Equipements spécifiques

Lithographie
- 260 m² salles blanches (classe <100)
- Lithographie UV (0.3-0.8m) et électronique (50 nm)
Gravure
- RIE, ICP RIE
- Chimique
Dépôts - dopage
- Bâtis d'épitaxie MBE (InP, GaP, Si et alliages)
- Impression jet de matière
- LPCVD , APCVD, PECVD (Si, Ge, SiO2, SiN...)
- Pulvérisateurs cathodiques (Si, SiN, MgO, …)
- Evaporateurs (Au, Ti, Pt, Al, Ni, Ge, Mo, …)
- Fours de dopage
Equipements de caractérisation
- Structurales (AFM, profilomètre, DRX...)
- Electriques (Tests sous pointes, conductivité, Hall, ...)
- Optique (Spectroscopie [0.4-10m], [10-350]K, ...) Modifier

Secteurs d'applications

  • Communication / Audiovisuel
  • Electronique / Electrique
  • Matériaux
  • Optique / Photonique
  • Télécom

Effectif total : En cours

dont

  • Nombre de chercheurs :
  • Nombre de doctorants :
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Mots-clés

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Nos résultats

Publications

Exemples de travaux

Bolomètre (GREYC Caen)

Électronique sur plastique

Micro disque suspendu (FOTON)

Circuits microfluidiques

Nanostructuration surface pour application biologique (GREYC Caen)

Filtres optiques (LAAS Toulouse)

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Relations industrielles et scientifiques

Collaborations privées par type d’entreprise

- France : Entreprises dans les domaines de la communication, l'électronique (SAGEM, GILSON, SCHNEIDER ELECTRIC CONSULTING)
- International :

Collaborations scientifiques

- France : FOTON UMR 6082, IETR UMR 6164
- International :
- Projets européens : Modifier

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